簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="電漿氧化"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    電漿氧化製備銅氧化物及銅-二氧化矽複合材料之太陽能選擇性吸收膜之性質研究
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 陳枝政 指導教授: 周賢鎧 朱瑾
    • 本論文使用磁控式濺鍍系統沈積為薄膜生成的主要製程,結合製程技術快速且低氧化溫度之電漿氧化製程,製備本實驗所需之太陽能選擇性吸收膜,並探討其吸收膜之光學性質及結晶結構。第一部份實驗為沈積一層Cu薄膜在…
    • 點閱:198下載:2

    2

    以電漿氧化成長氧化鉭摻銅薄膜之雙極式電阻切換研究
    • /100/ 碩士
    • 研究生: 趙啟良 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究利用共濺鍍系統沉積出TaN(Cu)的混合薄膜,並使用電漿氧化的方式直接氧化下電極製作出中間電阻層,之後再沉積出TaN薄膜當作上電極,製備出TaN/Cu-TaOx/TaN(Cu)的MIM三層結構…
    • 點閱:177下載:2

    3

    電漿氧化成長氧化鋁與氧化鋁-氧化銅介電層之單極式電阻切換研究
    • /100/ 碩士
    • 研究生: 吳雅婷 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究以Al與Al(Cu 5wt%)靶材濺鍍沉積下電極層,以RF與MW電漿氧化的方式成長電阻層,上電極皆以Al濺鍍,製成Al/AlOx/Al、Al/AlOx+CuOx/Al(Cu 5wt%)三層結構…
    • 點閱:195下載:14
    1